토토 벳 PRESSRELEASE보도 자료

종합마케팅비즈니스 주식회사 후지경제(도쿄도 주오구 니혼바시 사장 청구치 마사오 03-3241-3470)는 차세대 통신, AI, 클라우드 서비스 등의 보급에 따라 토토 벳 수요 증가가 확실시되는 가운데 토토 벳 제조 공정에서 사용되는 주요 그 결과「2022년 토토 벳 재료 시장의 현상과 장래 전망」에 정리했습니다.

이 조사에서는 토토 벳 재료를 전공정과 후공정으로 구분하고, 전공정 재료 25개 품목과 후공정 재료 5개 품목, 추가로 디바이스 5개 품목의 시장 동향을 조사 분석하여 미래를 전망했다.

◆조사 결과 개요

■토토 벳 재료(30품목)의 세계 시장

※시장 데이터가 반올림됨

2021년에는 토토 벳 부족이 심각해지고 다양한 전자 제품의 생산에 영향을 미쳤다.

2022년에는 신형 코로나바이러스 감염의 유행에 의한 둥지 쓰레기 수요가 한 단락되어 토토 벳 부족은 서서히 완화될 것으로 보인다. 노트북이나 게임기, 가전제품 등의 특수는 침착을 보이지만, 5G 통신이나 IoT의 보급에 의해 통신 인프라로서의 서버 수요는 견고하고, 계속해서 토토 벳의 수요 증가는 계속될 것으로 보인다.

향후는 서버나 노트북 등의 수요 증가에 더해 토토 벳의 미세화, 고층화 등의 요인이 전 공정 재료의 수요 증가를 촉구할 것으로 보인다. 또한 3D-IC 적층 실장의 실용화에 의해 후공정 재료의 부가가치화가 진행되어 시장은 장기적으로 확대될 것으로 예상된다.

공정별로 보면, 전공정 재료에서는 첨단 로직 토토 벳의 미세화나 극단 자외선 리소그래피(EUVL) 프로세스의 증가에 더해, 레거시 토토 벳의 수요 증가가 계속되어, 포토레지스트, 포토마스크가 호조가 되고 있다. 또한, 3D-NAND의 고층화가 계속되고 있고, 특히 고 종횡비의 심공 가공에 사용되는 HFC 에칭 가스, 황화카르보닐 등의 신장이 현저하다. 2023년부터 2024년에 걸쳐 200층 이상의 초고층 3D-NAND형 플래시 메모리가 등장할 것으로 보이며 중장기에 걸쳐 고층화 관련 재료가 시장 확대에 공헌할 것으로 예상된다.

후공정 재료에서는 웨이퍼의 투입 매수 및 면적의 증가에 의해 백 그라인드 테이프나 다이싱 테이프의 수요 증가가 계속될 것으로 보인다. 한편, 3D-NAND의 고층화에 의해 웨이퍼 투입 매수의 증가는 다소 억제될 것으로 예상되며, 다이 부착 필름의 성장은 둔화할 것으로 보인다. PC용 FC-BGA(Flip Chip-Ball Grid Array) 기판의 수요 증가로 패키지 기판 동장 적층판 재료가 호조이지만, 2022년 이후는 PC의 성장 둔화를 받아 스마트폰이나 데이터 서버용이 늘어날 것으로 보인다.

◆주목 시장

● 포토 마스크

토토 벳 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼 상에 패터닝될 때 사용되는 포토마스크를 대상으로 한다.

2021년에는 첨단 토토 벳에서 레거시 토토 벳까지 폭넓은 선폭으로 포토마스크 수요가 증가했다. 또, 타입별로는 EUV 마스크는 지금까지 첨단 토토 벳용이 중심이었지만, 2021년보다 복수의 메모리 메이커가 DRAM 제조에 도입한 것으로 수요가 증가해 시장은 확대했다.

2022년 이후에도 토토 벳 수요가 증가함에 따라 시장은 호조가 지속될 것으로 보인다. 타입별로는 미세화에 의한 수요 증가에 따른 위상 시프트 마스크의 증가나, 바이너리 마스크가 첨단품용으로 고화질 제품이 개발되어 채용이 진행되고 있는 것 외에 EUV 마스크는 첨단 로직으로 채용수가 증가하고 있다.

● 포토레지스트

웨이퍼 상에 패터닝을 행하는 포토리소그래피 공정에 사용되는 각종 감광성 재료를 대상으로 하였다.

2021년에는 첨단 분야와 더불어 레거시 토토 벳의 수요가 왕성해 시장이 확대되었다. 타입별로는 g선·i선, KrF, ArF, EUV의 모든 타입에서 수요가 증가하고, 그 중에서도 EUV용 레지스트의 증가가 현저했다.

2022년 이후, 첨단 공정에서는 ArF 침지 레지스트에서 EUV용 레지스트로의 대체가 진행됨에 따라 시장이 크게 확대될 것으로 예상된다. 또한 중장기적으로는 로직 메모리의 중간 배선층에서는 KrF용 레지스트에서 ArF용 레지스트로의 전환이 진행될 것으로 보이며 대폭적인 시장 확대가 예상된다.

●실란가스

토토 벳, FPD, 태양전지 등의 제조 과정에서 성막 공정에 사용되는 모노실란(SiH)4), 디실란(Si2H6), 테트라에토식실란(Si(OC)2H5)4, 이하 TEOS)를 대상으로 한다.

모노실란은 2022년 이후, 둥지 쓰레기 수요에 따른 PC나 모니터의 특수로 호조였던 FPD용이 진정될 것으로 보이지만, DX, 차세대 통신, 태양광 발전의 도입 추진이 가속하기 때문에, 실리콘 토토 벳나, 태양 전지용이 시장을 견인해 확대가 예상

디실란은 메모리나 첨단 노드가 14nm 미만인 로직과 같은 실리콘 토토 벳 용도로, DX나 차세대 통신의 추진에 따른 실리콘 토토 벳의 수요 증가나 미세화의 진전에 따른 트랜지스터의 구조 변화 등에 의해 2022년 이후 시장은 견조하게 확대될 것으로 보인다.

TEOS는 메모리나 로직과 같은 실리콘 토토 벳나 FPD용이 중심이다. FPD 제조 공정에서는 그 일부인 LTPS 패널에서 사용되는 데 그치지만, 실리콘 토토 벳에서는 DX나 차세대 통신의 보급 진전에 따른 토토 벳용 지속적인 증가에 더해 3D-NAND의 고층화에 의한 칩당 절연막이 증가하기 때문에 2022년 이후 시장 확대가 예상된다.

● 고순도 세정액

토토 벳 제조에 있어서의 세정 공정에서 사용되는 고순도 약액 중, 과산화수소수(H)2O2), 안수(NH4OH), 염산(HCl), 황산(H2SO4), 불화수소산(HF), 인산(H3PO4), 질산(HNO3)을 대상으로 한다.

고순도 약액은 주로 베어 웨이퍼 세정, 공정(RCA) 세정, 에칭, 레지스트 박리에 사용된다. 2021년은 왕성한 토토 벳 수요를 배경으로 웨이퍼 투입 매수가 증가한 것에 더해, 미세화나 회로 패턴의 고밀도화, 배선의 다층화에 의해 프로세스 세정 용도로 수요가 증가하고, 로직에서는 습식 에칭 횟수가 많은 레거시 노드 토토 벳의 수요가 증가한 것으로, 시장은 대폭 확대되었다.

2022년 시장 성장은 2021년에 비해 둔화될 것으로 예상되지만 앞으로는 5G 통신의 보급과 가속화되는 EV화, 데이터 통신량 증가 등이 토토 벳 수요를 끌어올릴 것으로 보이며, 이에 따라 시장은 확대될 것으로 예상된다.

●CMP 슬러리

토토 벳 제조에서 CMP 공정에서 사용되는 연마용 슬러리를 대상으로 한다.

2021년에는 데이터센터 용도 등에서 견고한 토토 벳 수요에 더해 디바이스 메이커나 토토 벳 무역사에 의한 재고가 쌓여 시장이 대폭 확대되었다. 프로세스별로는 3D-NAND의 고층화로 W플러그용이나 ILD용이 호조인 것 외에, DRAM에서의 Cu배선 공정의 증가가 플러스 요인이 되었다. 또 벌크재에서는 Co 등 신재료 채용이 증가하고 일부 제품에서는 고부가가치화가 진행된 것도 시장 확대를 뒷받침했다.

2022년에도 계속해서 토토 벳 수요가 왕성하기 때문에 시장은 견조하게 확대될 것으로 예상된다. 또한, 시장 확대의 저해 요인으로서는, 칩의 소형화에 의한 배선층의 박막화나 Co벌크의 채용 증가에 의한 배리어 메탈의 수요 감소 등을 들 수 있다. 그러나 앞으로도 미세화나 고층화의 진전에 의해 CMP 공정수가 증가할 것으로 보이며 시장은 중장기적으로 확대해 나갈 것으로 예상된다.

◆조사 대상